氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。什么是氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪可靠的品质保证广泛的市场应用，此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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氦质谱检漏仪在消防器材检漏应用三

检漏形式说明

使用氦质谱检漏仪 吸枪的模式检测消防钢瓶是业界较新所采用的广泛的检测方法，将消防钢瓶冲入一定量的氦气，使得钢瓶内外有压力差，如果有泄露，气体就会从钢瓶内部漏出，使用氦质谱检漏仪 吸枪在钢瓶焊接处还有阀门处慢慢游走，吸枪吸到有氦气的话就会产生报警，工件被确认有漏，从而达到测量效果。（3）其它据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。

四、消防器材检漏应用

氦质谱检漏仪 在现代工业生产中广泛应用，代表了先进的科技水准，以及人们对产品品质的要求的提高，比如消防器材的检漏，早在国内采用的是浸水法，将灭火器放在水中，如果没有气泡冒出，就认为是合格的，此种方法完全靠人的观察，并且当遇到微小泄露时，根本无法察觉，很可能在以后的使用中遇到问题，甚至可能危及生命，使用氦质谱检漏仪 则大大降低了泄露风险，即使对微小的泄露也会侦测到，并且加快了生产效率。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时，应更换探头，具体探头步骤是如下：（1）确认本仪器处于关闭状态（2）逆时针旋下旧探头（3）顺时针旋上包装箱中提供的备用探头。

测试方法，使用氦质谱检漏仪的正压法，先将灭火器内冲入氦气，然后放在密闭腔体内，腔体与氦质谱检漏仪 相连，工作时先将腔体内抽真空，到达一定的真空度后开始检漏，测试漏率在10-5 mbar.l/s，下视为合格（实际测试在 24 小时泄露 2 ml.约为10-5 mbar.l/s)。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

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氦质谱检漏仪的进展

（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。（3）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。

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氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准

氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。氦质谱检漏仪在消防器材检漏应用一消防器材钢瓶检漏原因灭火器属于特殊器材，在发生火灾的情况下使用，所以一般都会闲置，但是装有灭火材料的钢瓶瓶里有2。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。